当前比较常见的氧化铝镀膜系统可以分为两大类:原子层沉积(ALD)、等离子增强化学气相沉积(PECVD)οALD方法利用三甲基铝(TMA)和水汽(H2O)以次交叉覆盖到硅片表面,...
气相前驱体、氧化剂。1、气相前驱体:在ALD制备过程中,需要选取合适的气相前驱体,一般选择有机铝化合物如三甲基铝(TMA)或三乙基铝(TEA)作为气相前驱体。2、...
三甲基铝在空气中燃烧。遇水爆炸,生成氢氧化铝与甲烷。为路易斯酸,能与给予体如胺类、膦类、醚类及硫醚类结合。本...
下午好,金属汞和金属铝直接生成铝汞齐,碘化钾、甲醇和磷酸供热冷凝生成一碘甲烷,然后将固体铝汞齐压碎成粉末加入...
并且这种化学键键形成了两个。形成这样的结构是因为Al(CH3)3的单体中Al只有六个电子,具有空的3p轨道,是缺电子的,...
铝在空气中常温下与氧气反应,因为铝属于亲氧元素,它与铁不一样,铁生锈后由于氧化铁的结构疏松,反而会使内部的铁生锈的更快,而铝与氧反应生成的三氧化二铝致密,可阻...
三甲基铝和甲醇反应生成甲基三甲氧基铝(也称为TMA),化学式为Al(OCH3)3。是一种无色透明的液体,具有较高的热稳定性和溶解性,常用作有机合成中的试剂。该反应通...
三甲基铝在常温常压下为无色透明液体。反应性极强。空气中自燃,瞬间就能着火。与具有活性氢的酒精类、酸类激烈反应...
3易爆性级别: 3三甲基铝在常温常压下为无色透明液体。反应性极强。空气中自燃,瞬间就能着火。与具有活性氢的酒精...
2、气化:三甲基铝在高温下会发生气化反应,从而转变为气体状态。这会导致反应物质的损失和沉积材料的不稳定性。3、反应性增加:高温下,三甲基铝的反应性会增加,...
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