铝退火出现氧化现象吗

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此方法包含形成栅极介电层以及沉积金属氧化物层于栅极介电层上。此方法也包含将栅极介电层和金属氧化物层退火，使得离子从金属氧化物层扩散至栅极介电层，以形成掺杂的栅极介电层。此方法还包含形成功函数层于掺杂的栅极介电层上，以及形成栅极电极于功函数层上。本文源自金是什么。

第一隧穿氧化层远离发射极层的一侧设有第一掺杂层；基底层的第二表面覆盖有第二隧穿氧化层，第二隧穿氧化层远离基底层的一侧设有第二掺杂层；第二掺杂层为碳化硅掺杂层。电池结构采用双面钝化结构，其第一表面采用碳化硅掺杂层。氢化退火过程中，碳化硅掺杂层会生成碳氢键，碳氢说完了。

本发明提供了一种POLO电池的制备方法，包括在完成隧穿氧化层的生长和本征poly硅层的沉积后，进行一次快速退火，然后再进行硼扩散掺杂。采用本发明的方法，通过控制隧穿氧化层厚度和硼扩散前快速热退火，可有效控制隧穿氧化硅的针孔的密度，进而效提升电池开压和填充因子。本文好了吧！